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製品の詳細
13.56 MHz高周波出力のプラズマ洗浄機、RIE・DPデュアルモード搭載
プラズマを用いた表面処理装置。「使いやすい」デスクトップ高性能モデルに重点を置き、データの取り出しが簡単で、電子材料を中心に多様な用途に対応できる。
特徴
●電極構造を変更してプラズマ効果を高めることができる。
●高精度アダプタを搭載し、高性能RF電源。
・必要な仕様に応じてカスタマイズ可能。
用途
●シリコンウエハのアッシング及びエッチング
●基板表面汚れ処理
●IC/LEDパッケージ、BGA/CSP基板処理
●半導体関連部品の電子材料のドライクリーニング
●自然酸化膜・有機物除去
●界面活性処理
●表面汚染物質除去
ないぶみぞ
仕様
パイプライン接続図
プラズマを用いた表面処理装置。「使いやすい」デスクトップ高性能モデルに重点を置き、データの取り出しが簡単で、電子材料を中心に多様な用途に対応できる。
特徴
●電極構造を変更してプラズマ効果を高めることができる。
●高精度アダプタを搭載し、高性能RF電源。
・必要な仕様に応じてカスタマイズ可能。
用途
●シリコンウエハのアッシング及びエッチング
●基板表面汚れ処理
●IC/LEDパッケージ、BGA/CSP基板処理
●半導体関連部品の電子材料のドライクリーニング
●自然酸化膜・有機物除去
●界面活性処理
●表面汚染物質除去
ないぶみぞ
仕様
| モデル | V1000 | V1000X | V1000XS |
| プラズマモード | DP/RIE | ||
| 高周波電源 | 13.56MHz | ||
| しゅつりょくでんりょく | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有効電極サイズ | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| でんきょく | へいこうへいばん | 2段電極（独立） | プレート（多目的） |
| はんのうガス | 重合制御装置2系統（充填ガス路は別途設置） | ||
| しんくうポンプ | 約1000 L/min | 約1500 L/min | 1000 & 1500L/min |
| あんぜんそうち | ドア検出スイッチ、インターロック機構、非常停止スイッチ、温度過昇防止器など | ||
パイプライン接続図
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